基于PA85A的高精度动态压电陶瓷驱动电源设计

摘要：

压电陶瓷作为原子力显微镜系统中的执行器件,能够快速跟踪测量样品的形貌.为提高压电陶瓷驱动器的定位精度与响应速度,根据电压控制型驱动电源的原理,以PA85A高压运放为核心器件,设计了一种高精度动态压电陶瓷驱动电源.分析了影响系统精度与动态性能的因素,采用相位补偿法,提高了系统的稳定性.实验结果表明,该电源具有精度高,动态响应快,稳定性强的特点,能有效用于原子力显微镜系统中.

关键词：压电陶瓷、电压控制、高压运放、驱动电源、高精度动态

所属期刊栏目：40

分类号：TN384;TM282;TP29(半导体技术)

资助基金：科技部国家重大科学仪器设备开发专项基金资助项目2012YQ03007508

在线出版日期：2018-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：564-567