大位移交叉环形电极压电驱动器结构优化

摘要：

设计一种交叉环形电极与压电圆盘驱动器相结合的交叉环形电极(CREs)压电圆盘驱动器,利用分析软件ABAQUS进行静力学分析,着重研究CREs型压电圆盘驱动器电极结构几何尺寸以及驱动器厚度对驱动器径向驱动性能的影响.研究结果表明,减小电极中心距与驱动器厚度,有利于提高驱动器的驱动性能;加载相同电压,CREs型压电圆盘驱动器的径向夹持应力能达到普通型的2.1倍,径向自由应变能达到普通型的3.4倍.CREs型压电圆盘驱动器性能研究为CREs型压电圆盘驱动器的设计制造提供了一定的理论依据.

关键词：压电圆盘驱动器、交叉环形电极、静力学分析、夹持应力、自由应变

所属期刊栏目：40

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975075;河南省基础与前沿技术研究计划重大基金资助项目152300410083;河南科技大学高级别项目培育基金资助项目2015GJB006

在线出版日期：2018-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：547-551