体声波滤波器自动布局工具的设计开发

摘要：

为了实现体声波(BAW)滤波器版图的自动排布和构建滤波器的三维模型,开发了一款体声波滤波器自动布局工具.根据文献提出的BAW梯形滤波器布局设计流程,基于.NET平台,使用C#语言,创建生成滤波器版图的功能界面.根据输入的薄膜体声波谐振器(FBAR)个数和面积大小生成对应的多边形外接圆,通过FBARs的串并联连接情况,生成放置外接圆的位置,并生成多边形.生成多边形后,用户只需对其进行微调(拖动、旋转等),即可在保证滤波器性能的情况下,得到面积尽可能小的版图.在所完成的滤波器版图基础上,根据滤波器的结构参数和建模方式,在AutoCAD中导入写好的动态链接库,创建生成滤波器三维模型的功能界面.输入FBAR膜层厚度等参数后,软件自动生成滤波器的三维模型.并自动保存为可导入电磁仿真软件的dwg文件或sat文件,方便滤波器的电磁仿真.设计开发过程中所用滤波器的结构参数等即为该文验证所设计软件的案例.证明了所开发软件的可行性.即软件在保证滤波器性能的情况下,最大限度地缩小版图面积,提高滤波器在晶圆上的面积利用率,且节省了滤波器设计人员的时间和精力.

关键词：体声波、滤波器、布局、软件开发、C#

所属期刊栏目：40

分类号：TN385;TP311.52;TP319(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61574131;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目2014ZA001;核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目2016KF-02;西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目14ZXTK01;西南科技大学研究生创新基金资助项目16ycx101

在线出版日期：2018-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：483-486