基于声表面波形状记忆合金微阀研究

摘要：

研制了一种声表面波控制的形状记忆合金微阀.在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热压电基片上石蜡油,使弯曲的形状记忆合金线伸展,促使与其连接的聚二甲基硅氧烷微通道壁发生形变,截止微通道,实现微阀从开态向关态转变.撤除电信号,形状记忆合金线温度下降,恢复软性,在硬质塑料薄片的恢复力作用下,微阀重新由关态转为开态.以流体输运为实验对象进行微阀开关实验,结果表明,声表面波可有效控制形状记忆合金微阀的开关操作,在28.5 dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为40.4 s.

关键词：微阀、形状记忆合金、声表面波、微通道、微流器件

所属期刊栏目：39

分类号：TN371(半导体技术)

资助基金：常州工学院科研基金资助项目YN1404;江苏省创新基金资助项目201511055039X

在线出版日期：2017-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：153-156