压电偏摆台的复合控制

摘要：

由于压电陶瓷具有迟滞效应,为了更好地控制压电偏摆台,减少迟滞效应对控制系统的影响,首先通过坐标变换对偏摆台建立了Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞模型,然后求解其逆模型,并设计前馈控制器,使输入、输出角度间具有较好的线性关系.最后在此基础上进行比例-积分-微分(PID)反馈控制,构成复合控制系统,大幅度提高了定位精度.实验结果表明,最大定位误差为2.2 μrad,具有良好的控制效果.

关键词：迟滞、压电偏摆台、PI迟滞模型、逆模型、复合控制

所属期刊栏目：39

分类号：TN304.9(半导体技术)

资助基金：吉林省重大科技攻关专项基金资助项目20126015

在线出版日期：2017-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43