基于六端口反射计的体声波传感器读出电路

摘要：

由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高.为推进体声波传感器的实用化,该文提出一种基于六端口反射计的体声波传感器读出电路代替使用矢量网络分析仪的原创性设想.采用Agilent公司的射频仿真软件Advanced Design System初步验证了基于六端口反射计的体声波传感器读出电路的可行性,并给出了满足薄膜体声波谐振器的射频输出信号检测要求的六端口网络的电路设计.

关键词：薄膜体声波谐振器、体声波传感器、六端口网路、读出电路、片上矢量网络分析仪

所属期刊栏目：37

分类号：TN41;TN405;TM931(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目2014ZA001,2012CJMZZ00009;西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目14zxtk01;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目2013MS04;中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目S20141203;西南科技大学研究生创新基金资助项目14YCX107,14YCX109,14YCX111;国家自然科学基金资助项目61574131

在线出版日期：2016-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1066-1070