声学梳谱信号产生器件的探索

摘要：

介绍了工作频率在约为10 GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法.设计了Au/Cr/ZnO/ Au/Cr/Y AG/Cr/ Au/ZnO/Cr/ Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137 GHz的品质因数(Q)值达到23 000.进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值.

关键词：声学、梳谱信号、高次谐波声体波谐振器、压电换能器、氧化锌薄膜、品质因数(Q)值

所属期刊栏目：37

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2016-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：999-1002