热场作用下预紧结构与压电传感器输出的研究

摘要：

压电石英三向力传感器受热影响会导致输出信号产生偏差.基于温度均匀分布假设分析了压电传感器预紧结构在温度影响下的热变形规律,得出施加在压电石英上的热应力是传感器输出信号偏差的主要原因的结论.利用有限元软件对预紧结构加热过程中压电石英所受载荷变化过程进行分析,结果表明,随着热量的流入,压电石英在预紧力施加的方向上的应力变化为-3 315 kPa.最后,基于信号偏差的分析结论改进传感器的预紧结构,并设计对比实验进行验证.在240 s的加热过程中,改进后测力仪的预紧方向输出信号变化不大于4 mV,能够抑制由温度变化引起的输出信号偏差,提高测试准确性.

关键词：压电传感器、预紧结构、热应力、信号偏差

所属期刊栏目：37

分类号：TN384;TH823(半导体技术)

在线出版日期：2016-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：995-998,1002