ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究

摘要：

该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线.依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器.采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品.研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67 m/s,4 646.25 m/s和5 660.27 m/s.

关键词：声表面波滤波器、蓝宝石、相速度、机电耦合系数、ZnO膜

所属期刊栏目：37

分类号：TN65(电子元件、组件)

资助基金：总装预研基金资助项目9140A23070312DZ3602

在线出版日期：2016-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：954-956