10.3969/j.issn.1004-2474.2015.06.005
涂覆聚合物膜的Love波传播特性
该文计算了涂覆聚合物膜的Love波传感器波速和波导层相对膜厚的关系,并进行了实验验证.Love波器件以ST-90°X石英晶体为基片,在基片表面镀一层不同膜厚的聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层.采用网络分析仪测量了相对湿度35%左右器件的工作频率和插入损耗分别随膜厚的变化,算出Love波波速和PVA相对膜厚的关系,当PVA膜厚度从0增大到波长的5%时,Love波速度由约4 992m/s降低到4 840m/s,和理论计算结果一致.
声表面波、Love波、聚乙烯醇、聚合物膜、传感器
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TN65(电子元件、组件)
国家自然科学基金资助项目11104314
2016-02-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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