基于石英基片的应变灵敏度分析

摘要：

给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验.实验测得应变灵敏度为0.382 kHz/με,与理论计算结果(0.590 kHz/με)基本一致,验证了理论分析方法的正确性.

关键词：声表面波(SAW)、石英切向、应变传感器、微扰理论、应变灵敏度

所属期刊栏目：37

分类号：TN65(电子元件、组件)

资助基金：北京市科委基金资助项目Z131100004113002;北京市燃气集团有限责任公司基金资助项目T13JK004;秦皇岛科技基金资助项目201301B053

在线出版日期：2015-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：896-898