聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响

摘要：

研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响.在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量.实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加.当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3％和36.0％.

关键词：压电基片、薄膜、声表面波(SAW)、衰减、微流器件

所属期刊栏目：37

分类号：TN371(半导体技术)

资助基金：常州工学院科研基金资助项目YN1404;常州工学院大学生创新基金资助项目J140029;浙江省重点学科基金资助项目Xkl11077;江苏省大学创新基金资助项目201511055039X

在线出版日期：2015-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：748-751