ZnO/蓝宝石结构声表面波频散特性数值计算
从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线.计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO(c面)/蓝宝石(c面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705%,理论声速为4 982 m/s;在hA=0.3时,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4.34%,理论声速为5 509 m/s.结果表明,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大,适于研制高频低损耗声表面波滤波器.
声表面波、频散特性、机电耦合系数、ZnO薄膜、蓝宝石、相速度
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TN65(电子元件、组件)
2015-11-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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