体声波滤波器的片上测试与性能表征

摘要：

为了表征制备的L波段体声波(BAW)滤波器的性能,采用射频探针台和矢量网络分析仪片上测试获得了BAW滤波器的S参数;在ADS软件环境下计算了BAW滤波器的各项性能参数.比较实测与仿真得到的S参数曲线,发现:低阻硅衬底会使BAW滤波器的带内插损显著增加;BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的薄膜沉积厚度误差会使BAW滤波器的带内波动偏大,且FBAR薄膜厚度较设计值增大时BAW滤波器的中心频率会向下偏移.以制备的一只BAW滤波器为例,测得其中心频率为1 495 MHz,带宽为17 MHz,带内插损为-46.413 dB,带内波动为2.816 dB,带外抑制为-72.525 dB/-79.356 dB,电压驻波比为1.940.该文给出的BAW滤波器片上测试与性能表征方法具有通用性.

关键词：体声波、滤波器、射频探针台、矢量网络分析仪、低阻硅

所属期刊栏目：37

分类号：TN713;TN751.2(基本电子电路)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金2014ZA001;西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金14zxtk01;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金2013MS04;中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金S20141203;西南科技大学研究生创新基金14YCX107,14YCX109,14YCX111;国家自然科学基金资助项目61574131

在线出版日期：2015-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：729-733