基于COMSOL Multiphysics压电铌酸锂晶片仿真

摘要：

压电换能器是声光可调谐滤波器(AOTF)的基础元件,而换能器的核心部件是压电铌酸锂晶片,其性能直接影响AOTF的性能.该文利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合软件对压电铌酸锂晶片进行有限元仿真分析,基于COMSOL Multiphysics的压电模块,对超声换能器的压电铌酸锂晶片进行了瞬态分析.通过瞬态分析得到了压电铌酸锂晶片随时间变化的位移图.

关键词：声光可调谐滤波器(AOTF)、铌酸锂、COMSOL Multiphysics、压电换能器、有限元仿真分析

所属期刊栏目：37

分类号：TN304.9(半导体技术)

资助基金：成像光谱偏振仪联合研发国际科技合作基金资助项目2013DFR10150

在线出版日期：2015-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：291-293