滚磨工艺对压电陶瓷振子性能的影响

摘要：

介绍行星式滚磨工艺在压电陶瓷频率元件制造过程的应用，对压电陶瓷振子的频率具有调整作用。在给出不同滚磨试验条件下得到不同的滚磨结果。结果分析得出滚磨工艺影响压电陶瓷振子性能的关键因素，确定了滚磨条件。压电陶瓷频率元件产品的主要指标---振子频率控制精度要求越来越高，通过行星式滚磨机的滚磨加工，实现频率精细调整的目的。

关键词：压电陶瓷振子、滚磨工艺、磨球粒径、转速、滚磨时间

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：801-804