低噪声压电电荷放大器的设计与实验研究

摘要：

压电悬臂梁以其优越的性能在微纳米领域得到广泛应用.为了降低压电悬臂梁信号采集中的噪声,该文针对一种冷放电电荷放大器进行了详细的理论与仿真分析.设计实现了电荷-电压灵敏度为23.4 mV/pC的冷放电电荷放大器,并将其应用于压电悬臂梁纳米量级位移信号采集中.实验结果表明,冷放电电荷放大器具有优于经典电荷放大器的噪声特性,与理论预期、仿真分析结果相符.冷放电电荷放大器为低噪声压电信号采集提供了一种新选择.

关键词：压电悬臂梁、电荷放大器、低噪声

所属期刊栏目：35

分类号：TN722;TM22(基本电子电路)

资助基金：国家重点基础研究发展计划基金资助项目2011CB302101;中央高校基本科研业务费专项基金资助项目WK2090090008

在线出版日期：2014-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：833-837