基于声光调制的激光粗糙度测量技术研究

摘要：

随着机械工件表面加工技术的日益提高,对高质量工件表面粗糙度进行实时、准确测量的需求越来越大.为了满足这一需求,该文提出了一种高精度,实时在线,非接触式测量的方法,建立了基于激光多普勒效应测量表面粗糙的数学模型.该模型中利用激光多普勒原理实现对纳米级微小位移的测量;采用声光调制的方法降低了系统噪声,提高了测量分辨力;通过光外差法的光路减小了外界干扰对测量精度的影响;信号处理过程中采用了高精度频率电压(f/V)转换电路和快速傅里叶变换(FFT)算法有效提高了系统的精度.实验结果表明,该系统用于工件表面粗糙度测量可行,且精度可达1‰.这表明该系统不仅可用来测量表面粗糙度,还可用来校准其他设备.

关键词：声光调制、激光多普勒、光外差法、表面粗糙度、在线检测

所属期刊栏目：35

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：797-800