声表面波跨越式输运数字微流体

摘要：

研究了声表面波实现数字微流体在压电基片上跨越障碍物的方法.在128°YX-LiNbO3压电基片上采用微电子工艺制作了中心频率为25.5 MHz的叉指换能器和反射栅,在声传播路径上涂覆Teflon AF 1600疏水薄膜,聚二甲基硅氧烷垫块贴合于压电基片上.经功率放大器放大的射频信号加于叉指换能器激发声表面波,并作用在声路径上的数字微流体,在其内产生声流,当瞬间减少射频信号功率,部分液体因惯性力大于表面张力而飞离微流体,跃过聚二甲基硅氧烷障碍物,实现在压电基片上跨跃障碍输运.采用油包红色染料溶液微流体进行了实验,结果表明,当射频信号功率从12.3 dBm瞬间下降到-3.98 dBm时,油包红色染料溶液微流体可跃过高度1 mm的障碍物.

关键词：声表面波、输运、叉指换能器、数字微流体、压电基片

所属期刊栏目：35

分类号：TN371;TN304.9(半导体技术)

资助基金：浙江省科技厅基金资助项目2009R50025

在线出版日期：2014-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：775-778