基于石英晶体三分量土层压力传感器研制

摘要：

介绍了一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力传感器.该压力传感器由3个相互垂直的压力传感器和1个温度传感构成,采用等精度频率测量技术,实现高精度数据采集,用RS485串行接口进行数据传输.重点介绍了传感器的结构设计,并对弹性膜片材料和厚度与量程和灵敏度的关系进行试验和研究.研制的传感器量程为0～1.0 MPa,非线性度小于1.0％,重复性误差小于0.05％,滞后误差小于0.1％,温度的测量精度为0.01℃,可用于地震监测的试验.

关键词：石英晶体谐振器、土层压力传感器、等精度频率测量

所属期刊栏目：35

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国地震局地震星火计划基金资助项目XH12073;"十一五"科技支撑基金资助项目2006BAC01B01-03

在线出版日期：2013-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：372-375