硅基自锐式纳米针尖一次成型制作工艺的研究

摘要：

对采用KOH溶液腐蚀单晶硅制备自锐式纳米针尖的一次成型制作工艺进行了研究,为提高自锐式纳米针尖的纵横比,根据各向异性腐蚀针尖的自锐效应模型,分析了腐蚀溶液的浓度及掩模形状对针尖形状的影响,得到了提高自锐式纳米针尖纵横比的条件,实验结果表明,在15 rnol/L,60℃的KOH腐蚀液中采用五边形掩模可获取纵横比约等于1,针尖曲率半径小于10 nm的自锐式纳米针尖,针尖侧壁由{113}晶面组成.

关键词：纳米针尖、自锐效应、纵横比、各向异性腐蚀

所属期刊栏目：35

分类号：TTP394.1;TH691.9

资助基金：国家自然科学基金青年科学基金资助项目61104226;国家重大科学研究计划基金资助项目2010CB934700

在线出版日期：2013-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：125-128