10.3969/j.issn.1004-2474.2013.01.028
Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的耐压特性研究
采用射频磁控溅射法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了基片、退火温度及膜厚对薄膜耐压特性的影响.结果显示,铝酸镧(LaAlO3)基片上制备的BST薄膜表面较平整,有较好的耐压;随着退火温度从750℃提高到850℃,BST薄膜晶粒长大,电击穿概率有所增加,750℃是一个较合理的退火温度.在优化的工艺条件下,BST薄膜耐压可达125 V/μm.
Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜、铁电、耐压、集成电容
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TM215.3;TN384(电工材料)
国家自然科学基金资助项目51172035
2013-04-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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