石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究

摘要：

石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位.在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏.通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能.通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10000g,并保持了较好的性能.

关键词：石英、微机械、陀螺、抗高冲击、优化

所属期刊栏目：35

分类号：TN249;V249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：56-58