高频声表面横波谐振器研制

摘要：

声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点.该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1439 MHz、1989 MHz、2491 MHz的声表面横波谐振器.

关键词：声表面横波、谐振器、损耗、品质因数(Q)值

所属期刊栏目：35

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2013-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15