10.3969/j.issn.1004-2474.2013.01.001
基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究
微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件.声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件.该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数.对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件.实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向.实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6 MHz,与仿真结构接近.
微机电系统(MEMS)、声表面波、COMSOL、氧化锌/硅
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TN384(半导体技术)
国家自然科学重点基金资助项目60936002;国家自然科学基金资助项目61171038
2013-04-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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