密封空气型FBAR温度传感器

摘要：

薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器.通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR,研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性.实验结果表明,在20～100℃的温度范围内,密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化,且具有很好的稳定性与可靠性.

关键词：薄膜体声波谐振器、压电换能器、密封空气型薄膜体声波谐振器(FBAR)、温度传感器

所属期刊栏目：34

分类号：TN409(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：649-651,656