10.3969/j.issn.1004-2474.2012.02.016
真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法.建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析.设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制.实验结果表明,在士10 m/s2)的测量范围内,加速度计的标度因数为0.212 7,满量程输出电压为0.427 3 V,非线性度≤0.98%.该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制.
加速度传感器、真空微电子、闭环控制
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TN407(微电子学、集成电路(IC))
2012-06-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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