四压电陶瓷管驱动的扫描台及有限元分析

摘要：

基于单个压电陶瓷管可实现xyz三维微位移等优点和z向移动范围小等缺点,提出了一种由4个压电陶瓷管组合驱动的可实现三维微位移的扫描台,这种扫描台不仅能实现三维微位移,还扩大了z向移动范围.通过有限元分析软件ANSYS对其进行了力学分析,得出了xy方向移动范围为13 μm,z移动范围为20 μm,相比单个陶瓷管,z向移动范围增加很大；同时还得出了各种模态及z向位移的瞬态分析,通过给系统加入电阻尼有效改善了纳米位移台动态特性.

关键词：压电陶瓷管、有限元分析、扫描台、ANSYS、扫描近场光学显微镜

所属期刊栏目：33

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：594-596,601