工作条件下超声倒装键合换能系统的阻抗特性

摘要：

在建立各子部分等效阻抗的基础上,采用等效电路方法构建工作条件下芯片超声倒装键合换能系统的阻抗/导纳模型.对阻抗模型进行数值计算,并采用频率扫描的方法实测系统的阻抗特性.研究发现,在工作条件下,换能系统100 kHz范围内包含4阶轴向固有频率;相比于空载条件,工作条件下的各阶谐振频率增大,其电阻值增大,电导值降低.实验测试与数值计算结果相互吻合.

关键词：工作条件、阻抗/导纳、等效电路模型、倒装键合换能系统

所属期刊栏目：32

分类号：TN14(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50605064,50805147;国家"九七三"计划基金资助项目2009CB724203;湖南省科技计划基金资助项目2007FJ3098;国家科技重大专项基金资助项目2009ZX02038-01

在线出版日期：2011-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1062-1065