圆形压电单晶执行器的静态模拟与实验验证

摘要：

为了对圆形压电单晶执行器(CPUA)和基于圆形压电单晶执行器的系统(如微阀、微泵等)进行优化设计,基于经典薄板理论并将粘结层作为单独一层考虑,建立了固支边部分覆盖圆形压电单晶执行器在作用电压控制下的挠度特性模型并进行了实验验证.实验结果表明,用建立的模型预测圆形压电单晶执行器的静态挠度与实际测得值吻合,相对误差在4.83%以内,中心挠度相对误差在0.72%以内.

关键词：压电执行器、圆形压电单晶、压电薄板、建模、实验验证

所属期刊栏目：32

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：新世纪优秀人才支持计划基金资助项目NCET-05-0765;重庆市自然科学基金资助项目CSTC,2006BB5154

在线出版日期：2011-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：987-990