声表面波气体传感器的检测优化设计

摘要：

介绍了声表面波气体传感器的检测原理.设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度.采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性.由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降.当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳.

关键词：声表面波、气体传感器、延迟线、二氧化氮

所属期刊栏目：32

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60572018;天津市科技发展计划科技攻关基金资助项目05YFGPGX04900

在线出版日期：2011-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：912-914,952