透明导电氧化物薄膜研究的新进展

摘要：

透明导电氧化物(TCO)薄膜因其良好的光电性能,在光电器件上应用广泛,且已成为研究热点.p型TCO薄膜的出现开辟了透明导电氧化物研究的新领域,红外透明导电氧化物薄膜拓展了TCO薄膜的应用范围.该文综述了近几年p型TCO薄膜的研究进展,并简单介绍了新兴的红外透明导电氧化物薄膜的研究进展.

关键词：透明导电氧化物、红外透明、薄膜

所属期刊栏目：32

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2010-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：811-815