SrTiO3氧敏元件的制备及机理分析

摘要：

利用La、Nb进行施主掺杂,以固相合成法制备了高灵敏度的钛酸锶多晶陶瓷厚膜氧传感器.在600～850℃分别测试样品在大气及N2气氛下的电阻,并对样品的灵敏度和阻温特性进行了分析.研究了烧结温度对样品灵敏度、阻温特性等性能的影响,得出最佳烧结温度应在1 250℃.同时对样品敏感机理进行了深入分析,XRD、SEM的分析表明,制备的样品物相纯净且表面疏松.

关键词：钛酸锶、施主掺杂、氧传感器

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.92(半导体技术)

资助基金：陕西省自然科学基金资助项目2002F10

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：399-401,405