压电石英六维力传感器的解耦研究

摘要：

概述了六维力传感器研究意义及现状,介绍了构成压电石英六维力传感器的三向力传感器的结构,讨论了4支点三向力传感器在其中的空间布局及其测量原理.对传感器面上六维力标定数据进行回归分析,得出其向间耦合方程,进行了解耦处理.在此基础上,将传感器用于轴上六维力测量,进行标定和解耦分析,验证了该结构的传感器可用于轴上六维力的测量.

关键词：压电石英、六维力、传感器、解耦

所属期刊栏目：32

分类号：TN384;TH823(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划"九七三"基金资助项目2006CB70540

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：395-398