基于科氏加速度的微陀螺

摘要：

首先介绍了科氏加速度产生基本原理和评价微陀螺的性能指标,然后主要从结构、工作原理、工艺、性能等方面对基于科氏加速度的一些典型微陀螺进行了分析和比较,同时对基于科氏加速度的微陀螺做出了评价,最后结合目前的研究探讨了基于科氏加速度的微陀螺的发展趋势.

关键词：微陀螺、科氏加速度、综述、趋势

所属期刊栏目：32

分类号：TN389;TH712(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60402003;国防预研基金资助项目9140A09020706JW0314;2007年上海市人才发展基金资助项目047

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：379-385