改进的一维纵向光声腔仿真模型

摘要：

依据光声传感器的原理,改进了传输线理论,引入与谐振腔相连接的腔室、管道所引起的非理想因素,提出了一种更为完善的LC等效电路模型.利用此模型完成一维光声腔结构参数的理论分析和计算,通过与以前的模拟结果和实际测量数据进行对比可知,新模型的模拟结果与实验结果拟合得更好,从而证明了新模型的合理性.

关键词：一维纵向光声腔、LC振荡电路、微机电系统(MEMS)

所属期刊栏目：32

分类号：TN75;TP212.14(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金资助项目90607015;教育部博士研究生基金资助项目20070246099

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：353-356