脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究

摘要：

分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca_3Co_4O_9热电陶瓷靶材,对Ca_3Co_4O_9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al_2O_3衬底上生长了单相的Ca_3Co_4O_9薄膜.通过X-射线衍射(XRD)仪、金相显微镜及扫描电镜(SEM)等表征手段,研究了靶材与薄膜的制备工艺对热电薄膜的物相、显微结构及形貌的影响.用直流四探针法测定了靶材和薄膜电阻率与温度的关系,结果表明,薄膜具有明显的半导体特性.

关键词：Ca_3Co_4O_9、热电陶瓷、热电薄膜、脉冲激光沉积(PLD)

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：297-300