固态封装型的体声波谐振器的制备与性能分析

摘要：

以Ti/Mo为布喇格反射层,在Mo底电极上沉积了高c轴择优取向的AlN薄膜,并采用微机电系统(MEMS)工艺制备了固态封装型体声波谐振器.用原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试了布喇格反射层的粗糙度和截面,用微波探针台和网络分析仪测试了以优化工艺参数条件制备的谐振器(FBAR)的频率特性,得到谐振器的谐振频率为2.51 GHz,有效机电耦合系数为3.89%,串并联品质因数为134.2和97.8.

关键词：布喇格发射层、体声波谐振器、表面粗糙度

所属期刊栏目：31

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：武汉市科技公关计划基金资助项目20061002073

在线出版日期：2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：613-615,626