对低温下制得的CdS薄膜电学性质的研究

摘要：

采用化学水浴沉积法研究在低温条件下以及硫尿浓度不同的溶液中生长出的硫化镉薄膜的电学性质.采用X-射线衍射(XRD)仪确定退火后的样品是六方相,在(002)、(112)和(004)方向优势生长;使用紫外-可见分光光度计发现各样品的光学性质符合硫化镉作为窗口材料的要求;利用原子力显微镜发现各样品的晶粒形状、均匀性和致密性差异较大;利用化学工作站进行样品的电容-电压测试发现,各样品的掺杂浓度差异很大,其中有的样品掺杂浓度为1.2×1017cm-3,这样的掺杂浓度适合制造光电器件.

关键词：CdS薄膜、化学水浴沉积法(CBD)、电容-电压测试

所属期刊栏目：29

分类号：TN30412+5(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA052102;教育部跨世纪优秀人才培养计划NECT-04-0878;高等学校博士学科点专项科研项目20060610023;教育部留学基金委资助项目JH20041291627591

在线出版日期：2008-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：746-748