LSMCD法制备梯度BST铁电薄膜的工艺研究

摘要：

研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备梯度钛酸锶钡(BST)薄膜的工艺.该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小.X-射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析表明:沉积8次,采用常规退火方式,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上能成功制备出具有钙钛矿结构的、晶粒粒径约Φ 80 nm、厚约850 nm的梯度BST薄膜.该BST梯度薄膜在常温下介电常数达526,介电损耗约为0.06,矫顽场强约为100 kV/cm,剩余极化强度约为10μC/cm2,饱和极化强度约为20μC/cm2,在各个领域都具有广阔的应用前景.

关键词：液态源雾化沉积、钛酸锶钡、梯度薄膜、钙钛矿相

所属期刊栏目：29

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：面向21世纪教育振兴行动计划985计划

在线出版日期：2008-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：743-745