微位移器的在线测试

摘要：

提出一种微位移器的在线测试方法,记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图,截取每幅图中位置相同的一条线,建立干涉图截线法光强数学模型,然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子,通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值,再通过相位解包就可得到微位移器的电压-相位曲线.并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验,实验结果表明:该方法克服了传统方法速度慢,精度低,标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足,简单易实现,运算量小,迭代次数适中,实时性强,可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法.

关键词：移相干涉术、微位移器、阻尼最小二乘法、在线测试

所属期刊栏目：29

分类号：TH741.1+3(仪器、仪表)

资助基金：国防军工计量重点项目J60803134

在线出版日期：2008-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：666-668,672