压电式微位移机构动态特性研究

摘要：

压电陶瓷驱动器在较高电场的作用下将产生严重的非线性,从而影响其定位精度.压电陶瓷驱动器的非线性不仅与材料的非线性、蠕变、滞后等因素有关,还与器件的动态响应特性有关.动态响应的迟滞非线性是影响压电式微位移驱动器控制性能的一个关键因素,直接关系到控制精度的提高.该文采用前馈控制同数字比例、积分和微分环节(PID)控制相结合的复合控制算法对一维压电式微位移机构的控制过程进行校正补偿,建立了动态特性的闭环校正控制系统.实测结果表明,机构的动态响应时间显著缩短,实现了机构的快速响应.

关键词：压电陶瓷驱动器、微位移机构、动态特性、数字PID控制、非线性

所属期刊栏目：29

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：吉林省科技厅科研项目20050537

在线出版日期：2008-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：653-655