液相检测的Love波传感器的制作与研究

摘要：

在分析Love波传感器液相质量检测机理的基础上,设计并制作了以36°YX LiTaO3为基底,交联处理的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导层的Love波器件.器件的中心频率为118 MHz,插损为-16 dB.通过建立电镀实验模型,实时的检测了在液相中吸附于阴极薄膜上铜的质量,并测试到传感器的灵敏度为-0.387cm2/g.分析了灵敏度实验值与理论值的差别,进一步提出了改进方案与措施.

关键词：Love波器件、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)波导层、LiTaO3压电基底、叉指换能器

所属期刊栏目：29

分类号：TP212.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60474055

在线出版日期：2007-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：533-536