压电驱动微进给工作台设计与性能研究

摘要：

根据杠杆原理,使用结构紧凑的柔性导向支承机构,将压电驱动元件的伸长量传递到精密机床的进给系统上,进行精密进给.调节输入输出比可改变输出量大小及系统刚度.简述设计过程,提出了铰链的解析模型和有限元模型.测试结果表明柔性导向支承机构的静态刚度为5.5 N/μm,自振频率为439 Hz;微进给工作台行程为25μm,静态刚度约为200 N/μm.

关键词：微进给、柔性铰链、压电驱动、有限元分析

所属期刊栏目：29

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：上海市科技攻关项目041111007

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：240-242