MEMS平面微弹簧刚度分析

摘要：

对一种UV-LIGA工艺制备的封闭环"B型"微机电系统(MEMS)平面微弹簧建立了力学分析模型,运用能量法的卡氏第二定理,推导出了其在线性范围内的弹性常数计算公式.运用类似方法,推导出了开口"S型"MEMS平面微弹簧在线性范围内的弹性常数计算公式.在相同尺寸和材料特性条件下,对这两种平面微弹簧的刚度进行了对比研究,结果表明,闭环结构比开口结构的微弹簧刚度大.从力学的角度分析了其原因.对这两种平面微弹簧进行了力学拉伸实验,实验结果与公式计算结果相吻合.

关键词：MEMS、平面微弹簧、卡氏第二定理、弹性常数

所属期刊栏目：29

分类号：TH703.1(仪器、仪表)

资助基金：国防重点实验室基金514850301

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：237-239