压电扫描器非线性校正的实验研究

摘要：

针对扫描探针显微镜的压电扫描器提出一种非线性校正方法.利用双频激光干涉仪对压电扫描管的位移-电压曲线进行测量,设计非线性校正算法,修正控制电压以实现对压电扫描管非线性校正,将该方法应用于扫描探针显微镜.实验表明该方法能实现压电扫描器的非线性校正.

关键词：扫描探针显微镜、压电陶瓷扫描器、非线性校正、双频激光干涉仪

所属期刊栏目：29

分类号：TM282(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金1042740

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：219-221