一种集成三维微力传感器的微夹持器研制

摘要：

微操作中力的检测与控制是实现无损伤操集成三维微力传感器的微夹持器.传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点.传感器量程为-10～+10 mN,在x、y向的分辨率均为2.4 μN,z向的分辨率为4.2 μN.微夹持器采用压电陶瓷驱动两级柔性放大机构,实现张合量300 μm,完成了微夹持实验.

关键词：微夹持器、三维微力传感器、压阻检测、标定实验

所属期刊栏目：29

分类号：TP223(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA04Z256;教育部长江学者和创新团队发展计划

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：175-178