一种简易的多自由度微位移器

摘要：

具有三自由度的微位移器的组成为:掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0.15 mm的二个同心圆环,用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上,铜片的中央焊有一根长100 mm, 直径φ2.5 mm的铜杆,其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台, 作为微位移器的工作台.在外圈的PZT陶瓷环被四等分成四个彼此分开的扇形,其中相邻二个扇形的极化方向与中央PZT陶瓷环的极化方向相同,其余两个扇形的极化方向则与此相反.中央陶瓷环和极化方向不同的二组陶瓷扇形分别同3个直流电源相联.通过适当变化加在三组压电陶瓷上的电压,引起压电陶瓷变形,从而使与之相联的铜片发生弯曲形变,带动其中心铜杆顶端的平台,使之既沿垂直方向(z轴)移动,又围绕z轴作x, y方向的运动.

关键词：微位移器、PZT陶瓷、压电陶瓷

所属期刊栏目：28

分类号：TH703.8(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：530-533