压电驱动阵列微喷的加工及实验研究

摘要：

介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的阵列微喷的加工和实验结果.利用微细加工技术,在硅片上制作了上千个直径Φ5～20 μm的微喷孔阵列.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出.具有所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应的特点.采用激光相位-多普勒粒子分析(PDPA)系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、雾化给药、微喷、压电驱动

所属期刊栏目：28

分类号：TH789(仪器、仪表)

资助基金：国家科技攻关项目2003AA404170

在线出版日期：2006-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：360-362,366