MEMS微继电器及其关键问题研究现状

摘要：

通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展.介绍了国外MEMS微继电器的研究现状,分析了不同类型MEMS微继电器的特点,讨论了MEMS微继电器的基本结构特征和关键问题,并分析了MEMS微继电器的发展趋势和面临的挑战.

关键词：微机电系统(MEMS)、微继电器、接触电极

所属期刊栏目：28

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国防科研项目

在线出版日期：2006-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：278-281